En el SiCELL LAB se ha puesto en marcha un PECVD que es un dispositivo para hacer deposición química en fase de vapor asistida por plasma. Con este dispositivo, se completa la capacidad del laboratorio para fabricar prototipos de células fotovoltaicas basadas en silicio cristalino, así como la de usar este tipo de técnicas para la elaboración de nuevos materiales.
El modelo instalado se trata de un Vision 310 Mk II PECVD de última generación, fabricado por la firma sueca Advanced Vacuum y concebido para la investigación y la fabricación piloto de prototipos, a través de un reactor de plasma capaz hacer uso de una amplia variedad de agentes químicos. La cámara de procesos de este dispositivo es de carga abierta y va operada por un mecanismo de elevación controlado neumáticamente, mientras que para obtener las condiciones de vacío necesarias en la misma, se utiliza un compresor rotativo de paletas que trabaja en serie con una bomba mecánica de carga.
Para el correcto uso del PECVD es necesario contar con un sofisticado equipamiento auxiliar que evite el contacto con los agentes químicos requeridos en los procesos de deposición debido a la peligrosidad de alguno de éstos. Este equipamiento auxiliar está conformado por una cabina de abastecimiento gases, una central de detección de gases y un sistema de abatimiento para la conversión de subproductos tóxicos en sales inorgánicas inocuas. Con este equipo auxiliar tanto el suministro como la gestión de los productos derivados de los mismos, se realiza en condiciones de seguridad.
El laboratorio de Fotovoltaica de ITER ha sido cofinanciado por el Ministerio de Industria, Turismo y Comercio a través del Programa Nacional de Proyectos de Investigación Aplicada 2008 y por el Ministerio de Economía y Competitividad a través de las Convocatorias INNPLANTA 2011 e INNPLANTA 2012 para la adquisición de equipamiento científico-técnico para actividades de I+D+i y de transferencia de resultados en las entidades instaladas en los Parques Científicos y Tecnológicos.
Cuenta con una superficie total de 390 m2 y está ubicado en una de las naves con cubierta fotovoltaica de conexión a red instaladas en terrenos de ITER, alcanzando un total de 2MW.